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                KM-600C

                KM-600C

                詳細介紹

                KM-600C匹配器單獨的控制系統,可以應用于任何射頻功率發生器??商娲娮庸苁謩悠ヅ淦饔糜谡婵斟兡?、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積,化學氣象沉積,磁控濺射,以及太陽能制造設備PECVD等設備當中,主要功能是實現全自動匹配,解決了現在國內真空鍍膜設備中的一個技術空缺;具有自動,快速,可靠,高效,準確,節省人力和時間等特點??蛇x的射頻系統檢測模塊可實時檢測出系統的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等,從而使您能夠發現并顯著降低制程變化性。

                優勢

                ●性能安全可靠,長時間工作穩定
                ●實時反射功率測量與控制
                ●優化設計、安裝、使用與維修十分簡便
                ●傳輸效率高,運行噪音小
                ●屏蔽效果好
                ●可外接匹配控制盒,與其他射頻功率發生器配合使用

                特點

                ●加強了鍍膜與刻蝕工藝的控制
                ●優化的匹配算法加速匹配時間
                ●最大限度地減少駐波比與反射功率
                ●嚴格的可靠性測試

                使用參數:

                匹配功率范圍

                0-600W

                工作頻率:

                13.56MHZ

                正常工作反射功率

                <3W

                匹配時間

                <3S

                傳輸效率

                >90%

                匹配器電源

                AC220V/50-60HZ

                輸入連接器

                N型

                輸出連接器

                UHF

                控制模式

                手動/自動

                匹配阻抗范圍

                實部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據負載調節阻抗)

                匹配器尺寸

                480X380X132MM

                整機重量

                9.5KG

                冷卻方式

                強制風冷

                 

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